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半導體精密零部件

●  公司具備半導體精密零部件的供應能力,包括光刻機、刻蝕機關鍵零部件以及紅寶石限流噴嘴、各類電源等設備零部件。

●  公司是目前國內少數(shù)掌握應用于高端制程反應腔體噴涂技術的供應商,上海反應腔體項目位于上海金山。

●  公司可供應的其他半導體零部件包括CABLE ASSY、BALL SEAL、氣缸、紅寶石限流噴嘴、各類電源銷售及服務、泵維修、閥維修、特種光源生產等。

    ·  供應面豐富;

    ·  核心零部件;

  

    • 直排電機

    • 光刻機用直排電機
    • 紅寶石限流噴嘴

    • 高精密紅寶石限流噴嘴應具有耐高溫、耐腐蝕性、硬度大、高強度及高可靠性等性能特點
    • 其他產品

    CMP 研磨片、氣缸、TEL Vigus Ball seal、Spring, 300MM PC XT、GSKT SHLD RF、CABLE ASSY, 300MM, HS3, DRIVER、紅寶石限流噴嘴等

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